項目

KYKY-EM8100F性能參數

分辨率

SE:1 nm(30KV); 3nm(1KV)；BSE:2.5nm(30KV)

放大倍數

15x~800,000x

電子槍類型

肖特基場發射電子槍

加速電壓

0 ~ 30Kv

自動調整功能

聚焦、亮度/對比度、消像散、電子束對中等

真空系統

2個離子泵，1個渦輪分子泵，1個機械泵

探測器

高真空二次電子探測器（具備保護探測器探頭不被碰撞的功能）

樣品臺

五軸樣品臺（X/Y自動）

五軸自動臺（大樣品臺）

5軸全自動樣品臺

X

0 ~ 80mm

0 ~ 150mm

Y

0 ~ 60mm

0 ~ 150mm

Z

0 ~ 50mm

0 ~ 60mm

R

360°

360°

T

-5° ~ 90°

-5° ~ 75°

選配探測器

背散射電子探測器，X-ray能譜儀（可選）